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合肥欣奕華中小尺寸巨量轉(zhuǎn)移設備順利交付
發(fā)布日期：2022-08-25瀏覽次數(shù)：2651文章作者：CINNO
近日，泛半導體智能制造整體解決方案供應商合肥欣奕華智能機器股份有限公司（以下簡稱“合肥欣奕華”）成功研制出中小尺寸Mini LED量產(chǎn)用巨量轉(zhuǎn)移設備，并已出貨交付。
該中小尺寸巨量轉(zhuǎn)移設備轉(zhuǎn)移速度可達到360k UPH，處于全球先進水平，該設備對8.9寸到34寸基板可無限兼容。此次交付的是國內(nèi)首臺全自主研發(fā)面世的34寸中小尺寸巨量轉(zhuǎn)移設備，是合肥欣奕華基于長期技術積累，攻克 “卡脖子”技術難題，繼成功研發(fā)大尺寸巨量轉(zhuǎn)移設備（65寸基板無需拼接）之后的又一重大突破，也是我國泛半導體領域核心工藝裝備自主化道路上的又一里程碑。
這次合肥欣奕華主要克服適應高頻高加速沖擊運動的輕量化高剛度結構設計，匹配巨量轉(zhuǎn)移設備高頻高精度運動情況下的熱膨脹消除及溫度補償方法、適應高速高精度轉(zhuǎn)移的運動控制相關技術，如：亞毫秒級多軸協(xié)同運動軌跡規(guī)劃和控制技術、高頻沖擊殘余振動抑制技術、適應多樣化待轉(zhuǎn)移器件的微米級特征高精度視覺系統(tǒng)。相關負責人表示，此次中小尺寸巨量轉(zhuǎn)移設備研發(fā)順利，一方面得益于合肥欣奕華對巨量轉(zhuǎn)移設備開發(fā)的長期技術積累，另一面得益于客戶的認可和支持，是共同創(chuàng)新的成果。
DSCC在最新的Mini LED技術出貨報告中指出，全球采用Mini LED技術的顯示面板到2026年出貨將超過4000萬臺，未來將帶來較大的巨量轉(zhuǎn)移設備需求市場空間。
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