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2022年第二批安徽省首臺(tái)（套）重大技術(shù)裝備名單日前發(fā)布，合肥欣奕華有1項(xiàng)技術(shù)裝備躋身其中。此次入選的產(chǎn)品是彩膜磁控濺射機(jī)垂直上下料裝載設(shè)備，主要應(yīng)用于TFT-LCD等顯示面板生產(chǎn)線彩膜磁控濺射鍍膜（Sputter）工藝設(shè)備的上下料自動(dòng)化搬運(yùn)，為企業(yè)首臺(tái)（套）產(chǎn)品矩陣再添新成員。

彩膜磁控濺射鍍膜及配套設(shè)備主要依賴進(jìn)口，因?yàn)槠洳捎玫拇怪蔽锪蟼魉?、大尺寸面板、高潔凈度等特點(diǎn)，物料搬送技術(shù)難度較高，國(guó)內(nèi)之前沒有設(shè)備公司進(jìn)入該領(lǐng)域。在此背景下，合肥欣奕華研發(fā)制造了上述產(chǎn)品。

合肥欣奕華攻克了磁懸浮非接觸式傳送導(dǎo)向技術(shù)、大尺寸玻璃基板垂直取放技術(shù)、系統(tǒng)實(shí)時(shí)仿真技術(shù)等關(guān)鍵技術(shù)，實(shí)現(xiàn)了10.5代液晶玻璃基板以垂直位姿進(jìn)行濺射鍍膜上下料功能。通過高低溫兼容式玻璃固定夾爪設(shè)計(jì)、具備自由貼合玻璃曲面的柔性吸盤和非接觸吸盤組合設(shè)計(jì)，保證了10.5代液晶玻璃基板垂直上下料過程中安全可靠、作業(yè)精度穩(wěn)定。通過對(duì)Sputter設(shè)備工藝接口條件適配性解析，進(jìn)行針對(duì)性程序開發(fā)，使系統(tǒng)具有玻璃及承載治具位姿在線量測(cè)和主動(dòng)糾偏功能。彩膜磁控濺射機(jī)垂直上下料裝載設(shè)備技術(shù)達(dá)到國(guó)內(nèi)領(lǐng)先、國(guó)際先進(jìn)水平，填補(bǔ)了國(guó)內(nèi)行業(yè)空白。該設(shè)備的研發(fā)成功進(jìn)一步促進(jìn)我國(guó)新型平板顯示產(chǎn)業(yè)關(guān)鍵配套設(shè)備的自主化進(jìn)程，提高產(chǎn)業(yè)鏈的上下游配套能力，將大大提升產(chǎn)業(yè)的技術(shù)水平，促進(jìn)產(chǎn)業(yè)升級(jí)，增強(qiáng)產(chǎn)業(yè)的整體競(jìng)爭(zhēng)力，有利于提高我國(guó)平板顯示產(chǎn)業(yè)的國(guó)際地位和競(jìng)爭(zhēng)能力。

目前合肥欣奕華已有省級(jí)首臺(tái)（套）產(chǎn)品5項(xiàng)。首臺(tái)（套）重大技術(shù)裝備是指經(jīng)過原始創(chuàng)新、集成創(chuàng)新或引進(jìn)技術(shù)消化吸收再創(chuàng)新，在國(guó)內(nèi)率先實(shí)現(xiàn)原理、結(jié)構(gòu)、性能等方面的重大創(chuàng)新，具有顯著節(jié)能、節(jié)材和環(huán)保等特征，并擁有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)和自主品牌的成套或單機(jī)裝備產(chǎn)品。核心技術(shù)自主研發(fā)，是制造業(yè)發(fā)展的關(guān)鍵所在，而首臺(tái)（套）重大技術(shù)裝備是核心技術(shù)的重要領(lǐng)域。研發(fā)、應(yīng)用“首臺(tái)（套）”既是實(shí)現(xiàn)裝備高端化、智能化的有力手段，也是解決關(guān)鍵技術(shù)“卡脖子”問題、關(guān)鍵領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)自主可控的重要途徑。

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