近日,合肥欣奕華智能機器股份公司的“顯示面板制造缺陷自動檢測及分類系統(tǒng)(ADC)”成功入選合肥市工業(yè)互聯(lián)網創(chuàng)新應用示范項目。該評選由合肥市經信局組織開展,重點遴選在工業(yè)互聯(lián)網領域具有創(chuàng)新示范帶動效應的項目。
顯示面板制造缺陷自動檢測及分類系統(tǒng)(ADC)主要應用于工藝環(huán)節(jié)的視覺檢測。在顯示面板生產過程中,由于制程工序多而復雜,產生不良類型種類繁多,人工判定存在效率低、漏檢、誤判等問題,以及異常無法及時反饋、產品無法及時得到修復的情況。傳統(tǒng)人工缺陷檢測的方式已經無法滿足檢測需求,利用AI算法替代人工進行缺陷檢測已成必然。
合肥欣奕華通過自主研發(fā)顯示面板制造缺陷自動檢測及分類系統(tǒng)(ADC)解決方案,可以將在面板生產過程中產生的不良問題,例如不良種類、不良大小、位置等,進行綜合計算和缺陷的自動分類。將不同站點AOI圖像采用獨立虛擬站點進行分類,各虛擬站點可定制化規(guī)則及分類模型,干擾code少,準確率更高;采用GPU計算,具有高達140FPS的對象識別速度;融合最新數(shù)據增強技術,增強數(shù)據多樣性,改善數(shù)據質量,進而提高特征提取精度;具有四種不同深度的網絡結構,可根據硬件配置及時間需求選擇,實現(xiàn)模型配置自適應,最終將判圖結果推送至相關站點。不僅如此,ADC提供OP判圖模塊,讓人工檢測與自動判圖相結合,進一步完善整個檢測機制。同時,也為后續(xù)的返工(Rework)、返修(Repair)等工藝操作提供指導,低整個系統(tǒng)的不良率,及時減少返工和返修的工作量,顯著提升缺陷準確率和檢測效率。該套解決方案系統(tǒng)可實現(xiàn)替代人工檢測率大于80%,圖片檢出率為99%,識別準確度大于95%。
合肥欣奕華ADC解決方案具有可靠性、穩(wěn)定性等優(yōu)點。系統(tǒng)只根據需求調整可應用于半導體、鋁板帶、鋁箔、不銹鋼制造、電子元器件、無紡布、織物、玻璃、紙張、薄膜等領域,該系統(tǒng)應用前景廣闊,平臺搭建便捷,可推廣性強,是工業(yè)企業(yè)提高產品質量,減人增效的最優(yōu)選擇。
ADC不但能在顯示面板行業(yè)廣泛應用,在新型半導體制造工藝中也將大有作為:在半導體制造中需要使用檢驗工藝來檢測晶圓(wafer)上的缺陷進而提高晶圓的合格率。人工檢驗工藝,需要檢測人員在借助于檢驗工具的同時進行晶圓外觀的判定,并手動地作以缺陷標識。人工檢驗用于機器檢驗后的抽檢程序,能夠進一步提高晶圓的合格率,然而人工檢驗過程中,不可避免地會發(fā)生一些人為原因導致的缺陷定位的錯誤,例如檢測人員對缺陷坐標的辨認錯誤或者手動標記時將缺陷位置標錯等,均易導致缺陷檢測和定位的誤差。自動缺陷檢測及分類解決方案可以80%替代人工檢驗工作,并提高半導體器件的缺陷檢測準確率、降低缺陷定位錯誤發(fā)生率。
在未來的智慧城市方面也將大有作為:在智慧城市交通管理方面,ADC可實現(xiàn)對城市的有效管理,自動檢測道路飽和度,協(xié)助解決交通擁堵,當路段車輛超過飽和度時,可通過延長該路段入口處的紅燈時間或通過LED誘導屏及時向駕駛員發(fā)布路況信息,分流車輛;同時,可對進入城市的機動車輛進行行駛軌道全程自動記錄,待接到報警,系統(tǒng)可對違法車輛自動拍照、錄像取證。在智慧消防方面,可通過圖片監(jiān)控,隨時查看自家的情況,及時發(fā)現(xiàn)消防異常并預警,做到防患于未“燃”。
目前,合肥欣奕華此ADC系統(tǒng)在顯示面板行業(yè)工藝過程的缺陷檢測中已有著豐富的應用案例。