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產(chǎn)品特點

– 高潔凈度，高信賴性

– 高傳輸速度

– 高重復(fù)定位精度

– N?Purge系統(tǒng)，防腐蝕

– 快速設(shè)置

核心技術(shù)

– 高潔凈度控制技術(shù)、凈化設(shè)計技術(shù)

– 平穩(wěn)快速搬運振動抑制技術(shù)

– 耐腐蝕性技術(shù)

– N? Purge技術(shù)

– 腐蝕氣體強制排氣技術(shù)