產(chǎn)品特點(diǎn)
– 根據(jù)CAD檔自動(dòng)建模,自動(dòng)規(guī)劃?rùn)z測(cè)路徑
– 微米級(jí)分辨率
– 檢測(cè)曝光精度,同時(shí)輸出開窗區(qū)尺寸,兼容檢測(cè)焊盤缺陷
核心技術(shù)
– 曝光區(qū)域精確定位和檢測(cè)技術(shù)
– 自動(dòng)路徑規(guī)劃技術(shù)
– 高分辨率圖像的高速采集與處理技術(shù)
– 高精度平臺(tái)設(shè)計(jì)和控制技術(shù)