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產(chǎn)品特點

– 采用高功率半導體激光器（ DPSS Laser ）

– 可對應2~6 英寸 Micro&VTF LED晶圓剝離

– 獨特的光路、工藝設計，確保GaN低損傷

– 激光光斑Online分析，監(jiān)控激光器狀態(tài)

– 高精度&速度加工系統(tǒng)

– 高精度運動及對位系統(tǒng)

核心技術

- 自主知識產(chǎn)權軌跡掃描

- 良好的中心壞點控制

- 在線光斑分析

- 低GaN損傷