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產(chǎn)品特點

– 采用準(zhǔn)分子激光器（ Excimer Laser ）

– 設(shè)備可對應(yīng)2~8 英寸晶圓，全自動上下料

– 獨特的光路、工藝設(shè)計，確保GaN低損傷

– 可進(jìn)行整面剝離、選擇性剝離、單顆剝離

– 高精度運動&對位系統(tǒng)，剝離精度微米級

– 光斑監(jiān)控系統(tǒng)，確保激光穩(wěn)定性及可追溯性

– Mask全自動切換，解決手動更換Mask痛點

核心技術(shù)

- 客制化光斑尺寸

- 高精度運動平臺

- 在線光斑分析

- 全自動Mask切換模塊