主要產品
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產品特點
– 適用對象：TFT-LCD、LTPS、OLED
– 可檢測缺陷：Gate/Cs/Data open/short/cross short
– 即時在線檢測
– 模塊化設計，標準化CIM通訊軟件
– 多軸高精度運動控制技術
– 完全非接觸式檢測技術
核心技術
– 完全非接觸式檢測技術
– 高精度運動控制技術
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