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產(chǎn)品特點

– 可蒸鍍基板尺寸200mm*200mm

– Cluster Type

– 標準化

– 模塊化

– 成膜均勻性高

– 對位精度高

– 運營穩(wěn)定

核心技術(shù)

– 可滿足客戶定制需求

– 蒸鍍模擬技術(shù)

– 溫度及壓力控制技術(shù)

– PID控制技術(shù)

– Log分析技術(shù)

– 高精密對位補償算法