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         9月20日-24日，2023世界制造業(yè)大會在合肥召開。本屆大會以“智造世界·創(chuàng)造美好”為主題開展交流探討，共話制造大計、共商合作發(fā)展、共創(chuàng)美好未來。合肥欣奕華智能機器股份有限公司作為安徽省本土泛半導體高端裝備企業(yè)，本次主要攜半導體AMHS、顯示方面的MLED巨量轉(zhuǎn)移設備及鈣鈦礦蒸鍍機精彩亮相。

         合肥欣奕華在本次制造業(yè)大會開幕式發(fā)布了公司最新量產(chǎn)交付的半導體AMHS產(chǎn)品。作為國內(nèi)可以為半導體客戶Fab提供半導體OHT、Stocker、NTB等AMHS整體解決方案的廠商，合肥欣奕華自主研發(fā)的OHT走行速度最高可達320m/min，振動≤0.5G，擁有自主開發(fā)的路徑探索算法，支持控制系統(tǒng)不停機更新，搬送效率達國際先進水平，能有效助力半導體生產(chǎn)線稼動率和良率提升。

         時隔一年，合肥欣奕華自主研發(fā)的MLED大尺寸巨量轉(zhuǎn)移設備再次登上世界制造業(yè)的舞臺。巨量轉(zhuǎn)移技術主要是將微米級的LED晶?？焖偾揖珳实剞D(zhuǎn)移到驅(qū)動電路基板上，并與驅(qū)動電路之間形成良好的電氣連接和機械固定。屬于MLED顯示產(chǎn)品制程中最核心的工藝設備，巨量轉(zhuǎn)移的效率、良率直接關系到MLED顯示產(chǎn)品的成本和良率。合肥欣奕華MLED巨量轉(zhuǎn)移設備實現(xiàn)了系列化產(chǎn)品開發(fā)和技術的持續(xù)迭代，合肥欣奕華還就巨量轉(zhuǎn)移的使用環(huán)境、具體工藝過程和工藝參數(shù)對綜合效率的影響進行研究，不斷優(yōu)化設備的環(huán)境適應性、轉(zhuǎn)移工藝過程和關鍵工藝參數(shù)，設備可對應MLED背光、直顯產(chǎn)品，兼容玻璃、PCB以及柔性基材等多種基板，產(chǎn)品和技術能力達到了全球先進水平。

         此外，在世界制造業(yè)大會的光伏分會場，合肥欣奕華李經(jīng)理受邀發(fā)布《蒸鍍設備的研發(fā)與應用推進鈣鈦礦產(chǎn)業(yè)化進程》的主題演講，介紹蒸鍍設備在鈣鈦礦領域應用的最新動態(tài)，以及對如何實現(xiàn)大面積、高品質(zhì)、均一性好的薄膜，確保材料無變性，實現(xiàn)材料穩(wěn)定蒸鍍等內(nèi)容發(fā)表觀點。他表示像甲醚類的材料，因為揮發(fā)性強，速率不好監(jiān)控，對腔體有腐蝕性，合肥欣奕華做了腔室的優(yōu)化，腔壁和泵的優(yōu)化，來保障材料的穩(wěn)定蒸鍍。合肥欣奕華目前在鈣鈦礦蒸鍍領域的核心優(yōu)勢包括高精度和高穩(wěn)定性大尺寸蒸發(fā)源及高精密控制技術、可針對不同規(guī)格基板尺寸進行蒸發(fā)源均勻性客制化模擬，目前已經(jīng)實現(xiàn)鈣鈦礦小尺寸工藝驗證機型和大尺寸量產(chǎn)機型系列化產(chǎn)品開發(fā)和量產(chǎn)交付，獲得了多家頭部光伏企業(yè)設備訂單。

         作為國內(nèi)泛半導體高端裝備研發(fā)企業(yè)之一，未來，合肥欣奕華將持續(xù)加大對高端裝備的研發(fā)與投入，解決更多國家“卡脖子”問題，為中國半導體、顯示、光伏等行業(yè)快速發(fā)展貢獻力量。