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         近日，安徽省科技廳組織專家，對由新型顯示高端裝備安徽省重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室（以下簡稱“重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室”）承擔(dān)的安徽省重大科技攻堅(jiān)計(jì)劃項(xiàng)目展開第一階段里程碑考核。實(shí)驗(yàn)室主任劉正勇分別就項(xiàng)目總體執(zhí)行情況、項(xiàng)目研究內(nèi)容開展情況、項(xiàng)目成果產(chǎn)出情況、項(xiàng)目管理情況及資金使用情況向與會專家組進(jìn)行匯報(bào)。專家經(jīng)質(zhì)詢和閉門討論，一致同意項(xiàng)目第一階段里程碑考核通過。

         重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室承擔(dān)的“圓制造大規(guī)模高速智能天車系統(tǒng)開發(fā)與應(yīng)用項(xiàng)目”是安徽省科技廳2024年公示立項(xiàng)的219個重大項(xiàng)目之一。項(xiàng)目針對被國外壟斷的智能天車系統(tǒng)，結(jié)合人工智能大數(shù)據(jù)分析、模態(tài)分析與有限元技術(shù)，突破安全聯(lián)鎖、高潔凈與靜電控制、智能全局調(diào)度系統(tǒng)、高速低振控制系統(tǒng)等核心技術(shù)，通過創(chuàng)新的調(diào)度優(yōu)化、穩(wěn)定性控制和故障診斷與運(yùn)維策略等，實(shí)現(xiàn)大規(guī)模天車智能制造系統(tǒng)的高效運(yùn)行，大幅提升了系統(tǒng)的響應(yīng)速度、運(yùn)行性能、潔凈標(biāo)準(zhǔn)和可靠性。通過項(xiàng)目的開展，將有效提升泛半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)在天車領(lǐng)域的自主可控，避免技術(shù)工藝參數(shù)和技術(shù)秘密泄露，確保我國在新型顯示和半導(dǎo)體芯片領(lǐng)域的核心競爭力，擺脫對國外技術(shù)的依賴，保障我國泛半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的長遠(yuǎn)發(fā)展和國家安全。

         2024年，重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室主要開展了技術(shù)預(yù)研，明確了天車系統(tǒng)動態(tài)高效調(diào)度方法研究、高速天車動態(tài)穩(wěn)定性控制方法研究、大規(guī)模天車系統(tǒng)安全性控制方法研究、智能化故障診斷與運(yùn)維策略、晶圓制造大規(guī)模高速智能天車系統(tǒng)開發(fā)與應(yīng)用及實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證等關(guān)鍵技術(shù)點(diǎn)；開展了天車系統(tǒng)智能全局動態(tài)高效調(diào)度方案設(shè)計(jì)、高速天車動態(tài)穩(wěn)定性控制方案設(shè)計(jì)、高潔凈生產(chǎn)環(huán)境保持與安全性控制方案的制定，氣動分析和智能化故障診斷與運(yùn)維策略框架的研究。

         下一步，重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室將繼續(xù)推動該項(xiàng)目的執(zhí)行和研發(fā)，完成任務(wù)既定目標(biāo)，保障我國泛半導(dǎo)體領(lǐng)域核心裝備自主可控。