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產(chǎn)品特點

– 基板尺寸8英寸和12英寸

– Cluster Type

– 標(biāo)準(zhǔn)化

– 模塊化

– 成膜均勻性高

– 光學(xué)對位

– 運(yùn)營穩(wěn)定

核心技術(shù)

– CCD高精密對位技術(shù)

– 模塊化設(shè)計，可以滿足客戶多樣化定制需求

– 高信賴性，可實現(xiàn)長時間穩(wěn)定稼動生產(chǎn)